微量氧分析儀是一種常用的分析儀器，有便攜式、電化學、在線式多種類型。采用全密封的燃料池氧傳感器是當前國際上較為先進的測氧方法之一。在進行微量氧分析時，由于空氣中氧含量高，故而如果處理不當極易造成對樣品的污染和干擾，出現分析結果數據不正常，一些因素可能會影響微量氧分析儀的測量使用，比如：

　　1、背景氣干擾

　　如燃料電池式分析儀，不同的主背景氣（與背景氣的摩爾質量有關），會影響分析結果。并且少量的氫氣也會對分析結果產生較大的影響。

　　對于樣氣中含有微量酸性氣體的情況，只有特殊型式的赫茲電池式氧分析儀才能排除于擾，防止傳感器中毒，給出正確分析數據。其他燃料電池式氧分析儀均不能用于酸性氣體分析。

　　2、干擾雜質影響

　　干擾雜質主要指除背景氣和待測組分外存在的少量未知雜質，如燃料電池式微氧儀對酸性、氧化性氣體敏感，如果氣體中含有酸性氣體成分，如CO2，H2S，HCl，HCN等，則燃料池傳感器易中毒失效。而微量的還原性氣體對氧化鋯式微氧儀的分析結果產生影響，最近又發現微量的N2O對氧化鋯式微量氧分析儀產生影響，所以在檢測時要充分考慮到雜質的存在，選擇恰當的分析儀，才能得到準確的結果。

　　注意事項：

　　1、泄漏：在初次啟用前必須嚴格檢漏。氧氣微氧分析儀只有在嚴密不漏的前提下才能獲得準確的數據結果。任何連接點，焊點，閥門等處的不嚴密，將會導致空氣中的氧反滲進入管道及氧分析儀內部，從而得出含氧量偏高的結果。

　　2、污染：在重新使用時，首先須注意在連接氧分析儀的取樣管路時是否漏入空氣，并且必須認真將漏入氧氣微氧分析儀的空氣吹除干凈或外接過濾器，盡量不使大量氧氣通過氧氣微氧分析儀的傳感器以延長傳感器壽命。

　　在管道系統凈化過程中，為縮短凈化時間，需要有一定的方法，一般使用高壓放氣及小流量吹除交替進行可迅速凈化氧氣微氧分析儀管道。此處要及時更換過濾器以免損壞設備使用壽命。